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探针台如何工作?分类都有什么?

2021-12-16 08:17:11

探针台如何工作?

探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针装置到操纵器中,并运用显微镜将探针尖端放置到待测物上的正确地位。一旦一切探针尖端都被设置在正确的地位,就可以看待测物停止测试。关于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,运用显微镜找到准确的地位,压板降低后下一个芯片可以停止测试。半自动和全自动探针台零碎运用机械化工作台和机器视觉来自动化这个挪动进程,进步了探针台生产率。

探针台

探针台的分类

探针台可以依照运用类型与功用来划分,也可以依照操作方式来划分成:真空探针台高低温探针台半自动探针台、全自动探针台、手动探针台、光电探针台、磁场探针台。

手动探针台望文生义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动挪动的。因而普通是在没有很多待测器件需求测量或数据需求搜集的状况下运用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需求最少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需求触及额定培训和设置工夫的电子设备、PC或软件。由于其灵敏和可变性高的特点,非常适合研发人员运用。

全自动探针台相比上述两种添加了晶圆资料处置搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。担任晶圆的保送与定位,使晶圆上的晶粒顺次与探针接触并逐一测试。可以24小时延续任务,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处置薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价钱也是远比手动/半自动探针台要昂贵。



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