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探针台厂家带您了解半导体检测的利器—探针台

2021-12-22 08:22:18

探针台是半导体行业重要的检测装备之一,其广泛应用于复杂、 高速器件的精密电气测量,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

半导体测试可以按生产流程可以分为三类:验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外,晶圆检测环节还需要使用测试仪/机,测试仪/机用于检测芯片功能和性能,探针台实现被测芯片与测试机的连接,通过探针台和测试机的配合使用,可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试,可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。

真空探针台

探针台由哪些部分组成?

1.样品台(载物台)

载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备,重复定位精度达±50纳米,可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位,完成晶圆在量测端的极精密的检测。

2.光学元件

这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针尖端对准并放置在待测晶圆/ 芯片的测量点上。

3.卡盘

有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。


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