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探针台的作用是什么?

2022-09-09 14:38:22

探针台的作用是什么?探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。

探针台

晶圆检测是半导体制造中必不可少的步骤,选择合适的晶圆探针台和探针来进行晶圆检测也很重要。自主研发的超精密气浮运动平台具有极高精度和运动稳定性,让系统在快速运行时,能准确识别和测量出晶圆的种种缺陷,大大提高晶圆检测效率。




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