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探针台厂家分享低温探针台的优势

2022-10-17 17:05:42

现在探针台的种类非常多,今天就带大家一起来了解低温真空探针台

满足各种温度的需求:

因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。

低温探针台

体积小,稳定性高

与传统探针台相比,高低温真空探针台的稳定性更高,采用先进的技术工艺,让探针台在工作过程中流畅性更高,平稳性更高,从而保证每次实验数据的稳定性,这样实验得出的结果就会更加准确,对于企业快速研发新产品有很大帮助。

成本更低,可兼容直流跟射频测试的运用

与传统探针台相比,这种探针台采用先进的合成材料,成本方面比传统探针台更低,但是功能性、精准性都更加强大,所以销量火爆是很正常的一件事。


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